1.無塵室：這是上海漢宇為了對空間內空氣中的微粒控制所制造的封閉建筑。一般來說，無塵室也會對溫濕度、氣流運動形式、與震動噪音等環境因素做操控。

　　2.微粒操控：無塵室微粒操控的第一步，是把室內微粒進行分析，然后針對分析結果擬訂預先設計好的的微粒操控方法與無塵室管理形式，才干有用率的操控微粒污染。在做微粒影響剖析時，期間注意數據的量化。

　　3.外來污染源：從無塵室外進入系統的污染源，外來污染源主要是由空調通風系統所導入，另外門、窗、墻壁裂縫等也是外來污染源的成因。

　　4.內部污染源：無塵室內部發生污染的來源，一般是制程機器與操作職工，嚴峻的內部污染源一般是操作職工。

　　5.阻隔：阻隔是污染操控的一種觀念，也就是讓污染源阻隔在無塵區域之外。這種觀念多應用在高潔凈度的無塵環境，例如Class100，Class10，Class1等高濾網覆蓋率的無塵室，或是運用迷你潔凈室將機臺整個包住。

　　6.稀釋：稀釋是污染操控的另一種觀念，多應用在潔凈度不高的無塵室。例如在Class10000的無塵室，因為換氣量不大，制程與人員發生的粒子就會在室內打轉，要比較常的時刻才會排出。因而新的潔凈空氣只能稀釋室內的微粒濃度，讓室內潔凈度操控在某一等級之下就能夠了，部要求把人員與制程離隔。運用稀釋法作為粒操控時，要特別注意本節第二條微粒影響剖析的正確性，能把握微粒的發生速率，才干有用的稀釋微粒。

　　7.氣流形式：指的是流場型態，氣流分布，氣流的流向等性質。因為微粒的移除徹底把握在氣流的形式，因而愈潔凈的無塵室或是無塵區域，對氣流形式的掌控就愈注重。基本上要先把握氣流形式，才干把握潔凈度。

　　8.單一流向型氣流：氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，曾經稱為層流型無塵室，界說并無多大改動。高潔凈度無塵室需求單一流向型氣流。

　　9.非單一流向型氣流：氣流方向不受操控，就是所謂的亂流型無塵室，潔凈度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節約本錢。

　　10.As-builtcleanroom（剛完工的無塵室）：現已完結且能夠操作，一切相關支撐設備皆已完結的潔凈室，但并沒有設備及操作設備的人員。

　　11.At-restcleanroom（準備中的無塵室）：現已完結且能夠操作，一切相關支撐設備皆已動作的無塵室，設備已加載并能夠操作或已在工作，如所指定，但沒有操作設備的人員。

12.Operationalcleanroom（操作中的無塵室設備）：一個已在正常工作的無塵室，一切相關支撐設備皆已動作，設備及人員皆已加載，工作情況能夠呈現和到達其正常的功能。